[반도체] 실리콘(Silicon)의 재료상수

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실리콘에 관하여 각종 상수값들을 모아 정리한 자료입니다.
본문내용
Atoms/cm3
Atomic weight
An atom mass
Breakdown field
Binding energy(with Si)
Crystal structure
Density
Solid
Liquid at 1412℃
Dielectric constant, εr
Effective density of states of NC
Effective density of states of Nv
Effective mass, m*/m0
Electrons
Holes
Electron affinity, χ
Energy gap, Eg
Heat capacity
Solid
Liquid at 1,412℃
Index of refraction, n
Intrinsic carrier concentration, ni
Intrinsic Debye length, LD
Intrinsic resistivity
Lattice constant, a0
Linear coefficient of thermal expansion, ΔL/LΔT
Melting point
Minority-carrier lifetime
Mobility(drift)
Electrons, μn
Holes, μp
Optical phonon evergy
Phonon mean free path, λ0
Electrons
Holes
Poisson`s ratio
Specific heat
Thermal conductivity
Solid
Liquid at 1412℃
Thermal diffusivity
Torsion modulus
Young`s modulus
참고문헌
(실리콘 집적회로) 공정기술의 기초/이종덕/大英社/2002/
제3세대 실리콘화학/정일남/자유아카데미/2005/
반도체 소자 공정기술 /Quirk, Michael/淸文閣 /2006/
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