[졸업][재료공학] Integrated circuit의 단면 TEM 관찰

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하고 싶은 말
*2004년 2월 졸업논문입니다.
목차
1. 서론 .. 2

2. TEM 시편 준비 방법 .. 4
2.1. Gluing .. 4
2.2. Cutting .. 5
2.3. Grinding & Polishing .. 7
2.4. Ion-milling .. 8

3. TEM 관찰 .. 10

4. 트랜지스터와 트랜지스터의 연결 .. 12

5. 선 폭이 줄어 듦에 따라 생길 수 있는 문제점 .. 14

6. 참고 문헌 .. 15

본문내용

전계 효과 트랜지스터(Field Effect Transistor)란, 전기장의 힘으로 반송자 통로(channel)의 반송자수를 조절하여 출력 전류를 통제하는 네(세) 단자 소자를 말한다. 이는 소수 반송자 수에 그 특성을 의존하는 BJT와 달리 다수 반송자 소자이며, 크게 MOSFET, JFET 등으로 나누어진다.
FET는 비교적 제작하기가 쉽고, BJT에 비해 작은 공간을 차지하여 집적도를 높일 수 있으며, 다수 반송자 소자이기 때문에 소수 반송자 소자의 영향을 거의 받지 않는다. 또한, 저항이나 capacitor로 사용하기에 용이하고, 상보 소자를 형성할 수 있는 특징을 가지고 있다.
이번 실험에서는 486 CPU내에 있는 FET를 투과전자현미경을 통해 살펴보고자 한다. 또한, 이 과정에서 분석을 위한 박막 시편을 제작해 보고, 그 제작 과정도 이해하고자 한다. 제작 과정을 간단히 요약해 보자.
먼저, 기판의 단면을 관찰하기 위해 박막 표면, 즉 기면에 수직인 방향으로 기판을 절단한 후, 절단한 두 기판의 박막 표면이 서로 마주 보도록 에폭시로 접착한다. 이후에, 이 시편은 크게 기계적 연마와 이온 빔 연마 과정을 거쳐 전자 빔이 투과할 수 있을 정도의 얇은 시편으로 만들어진다.
그리고 기계적 연마 과정으로 절단 단면의 두께가 20μm 정도가 되도록 연마기 위에서 연마한다. 기계적 연마가 끝난 시편은 깨지기 쉬우므로 취급을 간편히 하기 위해 보통 1mm x 2mm의 타원형 구멍이 뚫린 직경 3.05mm 구리 그리드에 접착제로 시편을 접착시킨 후, 이 시편을 이온 연마로 전자 빔이
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