레포트 (145)
PVD)LithographyMicroscopyE-beam lithographyE-beam sputter E-beam evaporation5E-beam evaporation Tungsten filament washeated to generate electron. Revolving 270, the electronsare directed byelectromagnetic fieldresulting collision onto thesource surface After heated to certaindegree, source gas wasgenerated The sensor monitors thethickness of deposited film.6E-beam
24페이지 | 2,400원 | 2010.04.26
[반도체] Chemical Mechanical Polishing(CMP)
PVD등)과 에칭 등으로 형성하고 각 프로세스 사이에 평탄화 작업이 이루어짐 이종재료를 동시에 균일하게 표면 제거하는 것 ; Al, Cu, W 등의 금속배선과 산화물 및 질화물 등의 절연막의 이종재료를 동시에 균일 제거(4) 요철표면의 돌출부를 선택적으로 제거하는 것 ; 디바이스화 공정 중(절연막
28페이지 | 2,600원 | 2010.04.26
PVD)PHOTOETCH/洗淨NEXT LAYERGate OxidationGate Poly 증착Gate WSi 증착Gate CAP HLD증착Gate CAP NiT 증착P/R CoatingP/R노광현상MASKLightETCHINGP/R제거세정成膜PHOTO洗淨ETCH※ 成膜→PHOTO→ETCH→洗淨공정 (1Layer)을 20~30回를 반복하여 제품이 완성됨재작업可재작업可성막ETCH세정16MC59504764MLX725255256MLD79PH
27페이지 | 2,000원 | 2010.02.25
PVD(physical vapor deposition)법과 CVD(chemical vapor deposition)법이 있다. PVD법에는 저항 가열법, 전자 빔 가열법, 고주파 가열법이 있다. 그리고 이러한 방법을 병용하는 것도 가능하다. CVD법에는 고주파법, 전자파법, 저온 플라즈마법 등이 있다.- 알루미늄 증착필름알루미늄을 플라스틱 필름 기재에 진공 즈악한
50페이지 | 2,800원 | 2010.02.10
PVD 등에 의한 직접 증착결 정 화레이저 결정화→ 펄스 레이저에 의한 결정화- ELA(Excimer Laser Annealing)- SLS(Sequential Lateral Solidification)→ 연속 레이저에 의한 결정화열결정화→ 비정질 Si의 고상결정화- SPC(Solid Phase Crystallization)→ 금속촉매에 의한 결정화- MIC(Metal Induced Crystallization)- MILC(Metal Induced La
20페이지 | 1,700원 | 2010.01.15
PVDP : 작업(물체) 둘레의 길이 편평형 다중슬롯0.2 이상Q=V(10X2+A) 플랜지형 다중 슬롯0.2 이상Q=0.75V(10X2+A)4. 후드의 설계(5) 후드 개구면 속도를 균일하게 분포시키는 방법- 후드 개구면에서 유속을 측정
174페이지 | 2,100원 | 2010.01.15
PVDP : 작업(물체) 둘레의 길이 편평형 다중슬롯0.2 이상Q=V(10X2+A) 플랜지형 다중 슬롯0.2 이상Q=0.75V(10X2+A)4. 후드의 설계(5) 후드 개구면 속도를 균일하게 분포시키는 방법- 후드 개구면에서 유속을 측정
35페이지 | 1,400원 | 2010.01.15
PVD 방법들은 그 화합물들을 우선 소결하거나 녹여서 고체 상태의 target으로 제조해서 열이나 전자빔으로 휘발시켜서 기판에 증착시키는 것이고 조금 더 복잡한 방법으로는 각각의 원료 물질을 cell (effusion cell)에 넣은 다음에 cell의 문을 열고 닫는 것으로 원료물질을 열, 레이저, 전자빔 등을 통해 기체
6페이지 | 1,200원 | 2010.01.11
[간호] <간호학과>정형외과 실습점검표(check list 체크리스트)
PVD가 있다고 보고하였는데 이러한 vitreoretinal relationship은 숙련자라도 수술 전에 알기가 쉽지는 않고 대개는 수술 중에 병변부위에 조작을 가하거나 눈속조명을 비스듬히 기울임으로 잘 알 수 있다. ⋅병리ERM을 구성하는 세포의 기원은 무엇일까에 대해서는 Iwanoff이후로 많은 학자들이 연구하고 가설
15페이지 | 1,200원 | 2009.11.05
PVD코팅)질소아르곤전 기Ti타겟-Ti+--Ti+Ti+Ti+N+N+N+N+-1) PVD코팅진공안에 활성금속을 용융, 증발시켜 탄화수소계로 질소가스와 플라즈마 상태로 이온화 해서 반응, 생성시키는 방법2) 코팅과정호닝 → 표면처리 → 코팅전처리 → 세척 → 코팅 → 검사3) PVD 코팅 특징무공해 공정, 치밀한
12페이지 | 300원 | 2009.08.12