레포트 (442)
AND ENGINEERING (William D. Callister) WILEY 정 석 진 / 이 병 용 경희대학교 산학협력기술연구원 악취제어센터 ▪ 졸-겔법에 의한 TiO박막의 제작과 구조적 및 광학적 특성분석▪ Journal of Industrial Science and Technology Institute▪ 재료 연구 정보 센터 - http://icm.re.kr▪ KOSEN - http://www.kosen21.org▪ http://www.ezchem.pe.kr
20페이지 | 1,700원 | 2008.11.11
기상증착)법을 모델로 하고 있다. CVD법은 기체상태의 화합물을 가열된 모재 표면에서 반응시키고 생성물을 모재 표면에 증착시키는 방법이다. 여기서 기체상태의 화합물은 염소기체이고 모재는 알루미늄이라 할 수 있다. 그 반응식은 다음과 같다.2Al + 3Cl2 -> 2AlCl3 반응기 내의 상황은, inlet으로 들어오
26페이지 | 2,100원 | 2008.10.10
[반도체 공정] Silicon wafer 실리콘 웨이퍼에 관해(A+레포트)
기상성장법으로 단결정 실리콘을 증착시키는 Epitaxy 공정을 거친 웨이퍼로 IC 및 Discrete Device 제조에 지속적인 발전을 거듭하며 사용되어져 왔습니다. 기상성장은 에피택셜 성장으로 불리고, 반응용기 내에서 웨이퍼를 보통 1150℃ 정도의 고온으로 하여 실란가스와 수소가스를 흘려, 실리콘 원자를 웨이
7페이지 | 1,000원 | 2008.10.07
증착 할 때는 E-Beam 이라 부르는 Evaporator 는 말 그대로 Electron Beam을 이용한 방법을 많이 사용하는데, 보통 10K 또는 이하의 Power Suplly가 사용된다. 허나 일반 Sputter 나 CVD에 비해서 막의 성질이 좋지 않아 우리조는 CVD를 이용한 증착법을 택하였다. CVD는 IC(집적회로) 등의 제조공정에서 기판 위에 규소 등의
24페이지 | 2,000원 | 2008.10.07
법 : 전기 기기의 온도 상승 시험에서 실부하를 가하지 않고 그 손실에 해당 하는 전기력을 전원에서 공급하는 방 법.218. 발광 다이오드 : 전류를 흐르게 하면 발광하는 다이오드.219. 발열체 : 전류를 통하여 줄joule열을 발생시키는 전기 저항체.220. 발전식 회전 속도계 : 발전기의 발생 전압이 회전 속
22페이지 | 1,500원 | 2008.08.04
증착시켜 사용하기도 한다.Pt 함량의 경우 고분자전해질 연료전지 전극 개발의 초기에는 Pt black을 사용하여 전극 단위면적당 촉매함량이 4 mgPt/cm2로 비교적 높았으나, supported Pt/C 촉매를 사용함으로써 백금촉매의 함량을 약 0.4 mgPt/cm2로 낮추면서도 향상된 성능을 보이는 전극제조 방법을 개발하였다.
26페이지 | 2,500원 | 2008.07.17
기상증착) 장비 정창석 440,700 7,207,100 11,750,300 0 0 105,200 105,200 반도체 제조용 기계 제조업 미국 194,900 383,000 0 0 10,900 10,900 반도체 제조용 기계 제조업 미국 일반 주식취득 혼합결합 사후서면 2006-11-10 2006-12-22 KLA-Tencor Corporation ADE Corporation 신고수리 비패턴 웨이퍼용 결함 검사장비 정창석 456,600 2,233,000 4,083
24페이지 | 2,800원 | 2008.05.16
[열역학] Ethanol, Tetra Ethyl Ortho Silicate VLE
기상의 조성을 측정하는 경우에 문제가 발생할 소지가 많다. ※ Barker’s method데이터만을 이용하는 방법으로 여러가지 과잉깁스모델을 이용하여 적용될 수 있다.과잉깁스모델을 이용하여 활동도계수를 구하고 계산한 압력과 실험데이타의 압력을 비교하여 에러의 총합이 최소로 하는 매개변수(Margule
14페이지 | 4,100원 | 2008.01.11
법 및 탄소나노선재 제조용 촉매의 제조방법과 제조용 촉매 등을 특허출원했다. 이 같은 연구결과를 바탕으로 이 업체는 그동안 촉매열화기상증착법을 이용해 우수한 품질의 다중벽 CNT 및 3종의 흑연나노섬유를 생산해왔으며, 최근에는 세계 최초로 연산 45톤 규모의 CNT 대량생산설비를 갖췄다. 이번
23페이지 | 1,500원 | 2007.10.31
기상 증착법을 이용해 순도가 매우 높은 실리콘 결정층을 웨이퍼 위에 성장시키는 것웨이퍼 두께의 약 3% 그림에서 짙은 색깔 부분이 적층 성장된 층임.트랜지스터, 집적회로와 같은 반도체 제작을 위해 오염물질이 없는 기판 역할전통적인 리소그래피 - 트랜지스터2. 산화와 노광 (Oxidation & Exposure)
29페이지 | 1,700원 | 2007.10.28