MEMS 정의 역사 관련 자료 응용 분야 미래 전망
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- 본문내용
-
출 처
전자엔지니어 www.eetkorea.com
나노종합팹센터 www.nnfc.com
http://www.ajou.ac.kr/~mems
MEMSentry 관련 보도기사
http://www.uitc.or.kr/main/index.jsp
http://www.lginnotek.co.kr
네이버뉴스
http://www.old.ajou.ac.kr/~mems/
MEMS 의 역사
미세 기계요소 즉, 밸브, 모터, 펌프 기어
실리콘 기판위에 압력센서가 속도 센서등과 신호처리용 집적회로, 그리고 센서에 의해서 제어가 가능
1960년대 초 실리콘 가공기술에서 시작
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