Micro-scale patterning 실험
- 등록일 / 수정일
- 페이지 / 형식
- 자료평가
- 구매가격
- 2014.12.03 / 2019.12.24
- 29페이지 / pptx (파워포인트 2007이상)
- 평가한 분이 없습니다. (구매금액의 3%지급)
- 1,900원
최대 20페이지까지 미리보기 서비스를 제공합니다.
자료평가하면 구매금액의 3%지급!
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
추천 연관자료
- 목차
-
1 목적
2 이론
3 기구 및 시약
4 실험방법
5 주의사항
6 참고문헌
7 질의응답
- 본문내용
-
1 목적
목적
실험을 통해 유기물질을 이용한 마이크로 수준의 패턴을 만드는 법을 배우고 이해한다.
(중략)
2 이론
Photolithography
★ 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이
빛을 받으면 화학반응을 일으켜서
성질이 변화하는 원리를 이용
★ mask를 사용하여 빛을 선택적으로
PR에 조사함으로써 pattern을 형성
★ 모든 공정 step이 각종 particle에 대해
매우 취약
청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다
중요한 공정
①Cleaning 공정
불순물을 제거하는 세척과정
②Spin Coating 공정
Spin 방식에 의하여 PR을 wafer위에
균일하게 코팅하는 과정
③Soft Baking 공정
PR내의 solvent를 열에너지에 의해 증발시켜
점착(adhesion)을 좋게 하는 과정
④Exposure 공정
mask를 원하는 위치에 패턴이 새겨지도록
정렬 후UV를 강하게 노출시켜 PR을 반응시킴
- 참고문헌
-
★ Chemical Engineering Laboratory2 – SKKU CE
★ http://en.wikipedia.org/wiki/Polydimethylsiloxane
★ http://terms.naver.com/entry.nhn?docId
=864802&mobile&categoryId=209
★ http://terms.naver.com/entry.nhn?
docId=444846&mobile&categoryId=354
★ http://en.wikipedia.org/wiki/Isopropyl_alcohol
http://en.wikipedia.org/wiki/Acetone
★ http://www.unece.org/trans/danger/
publi/ghs/pictograms.html
자료평가
-
아직 평가한 내용이 없습니다.
오늘 본 자료
더보기
최근 판매 자료
- A+] 항공기동력장치왕복엔진 구성품의 종류와 그 역할에 대하여 설명하시오
- WirelessLan무선랜
- 무선랜 WirelessLAN2
- 중금속 - 중금속 종류, 체내에 축적되는 경로, 피해현상
- 파이썬의 활용에 대해서
- 영상제작실무 / 유튜브기획안 (영상제작예산안, 영상구성안, 촬영스케줄표, 유튜브구성)
- [금오공대 A+] 일물실 음파의 맥놀이 예비보고서 + 결과보고서
- [네트워크 프로토콜 A+] 이더넷(ethernet)의 역사와 미래
- [부산대] 고체의 비열
- 자동차섀시공학 - 자동차 종류, 구동방식, 한국 자동차 산업의 역사와 현황 및 향후 전망
저작권 관련 사항 정보 및 게시물 내용의 진실성에 대하여 레포트샵은 보증하지 아니하며, 해당 정보 및 게시물의 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다. 위 정보 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재·배포는 금지됩니다. 저작권침해, 명예훼손 등 분쟁요소 발견시 고객센터에 신고해 주시기 바랍니다.