< Photolithography 공정 기술 >
photolithography에 대해서 알아보기 전에 먼저 전공정과 후공정에 대해서 알아보겠습니다.
전공정은 웨이퍼위에 회로를 만드는 과정이라고 할 수 있고, 후공정은 기판위에 만들어진 회로들을 하나하나씩 자르고 외부와 접속할 선을 연결하고 패키지하는 과정입니다. 자세한 내용은 다음과 같습니다.
<대분류>
회로설계 ⇒ 패턴설계 ⇒ 마스크제작 ⇒ 웨이퍼 프로세스(전공정),기판공정(FEOL) ⇒Si다결정제조 ⇒ Si단결정제조 ⇒ 경면 Si웨이퍼제조 ↗
나노미터의 영역까지 연장해 가는 기술을 확보하는 것도 어렵지만 더욱 중요한 것은 이러한 기술이 과연 시도할 만한, 경제적 효용성이 있는 기술인가 하는 점이다. 이러한 경제적인 어려움을 잘 예측한 것이 소위 말하는 무어의 제 2법칙인데 이 법칙은 반도체 집적 공정기술의 개발에 따른 부대비용의 증가로 인하여 기술개발이 자연적인 한계에 도달할 것이라고 예측한다. 여기에서 자연스럽게 등장한 방식이 소위말하는 아래에서 위로의 접근(bottom
나노미터) = 10억분의 1m = 지구 지름을 1m라 할때 유리 구슬 지름의 크기 = 원자 3~4개의 크기에 해당 한다.나노기술(Nano Technology)은 1~100nm 크기의 물질을 규명/제어/창조하는 기술이며, 원자/분자 단위의 크기/물질을 다루는 기술 이라고 하겠다.나노기술(NT)은 기존의 기술 패러다임을 변화 시키고 있다.학제간 연구 - 학문간 경계 소멸높은 기술집약도 - 분석/제어등 전과정이 극미세 수준, 최고의 성능높은 환경친화성 - 자연에 근접한 기술, 오염발생
나노미터 영역까지 연장해 가는 기술을 화보하는 것도 어렵지만, 이러한 기술의 경제적 효용성이라는 중요한 문제가 대두된다. 이러한 경제성의 문제를 지적한 것이 무어의 제2법칙으로, 이에 따르면 반도체 집적 공정 기술의 개발에 따른대 비용의 증가로 인하여, 기술 개발이 한계에 도달할 것으로 예측된다. 상향식(bottom-up) 접근 방식의 나노 제작 기술은 주사 원자 현미경을 이용한 원자의 배열이나 자연에 존재하는 원자들 사이의 결합력을 이용한
나노 튜브 공정 제안 보고서1. 나노튜브 시장나노튜브는 그 직경이 수-수십 나모미터(10억분의 1m)이므로 높은 집적도를 충족시켜주며 구조와 형태에 따라 전기적 성질이 변한다. 또한 질량에 비해 강도가 높고 열전도도가 높아 외부 변화에 안정된 장점을 가지고 있어 응용성이 매우 높은 소재이다. 현재 나노튜브의 연구는 전기적/자기적 성질연구, 나노튜브-금속 계면현상 연구, 위치 선택적인 나노튜브의 수직/수평 성장 연구,성장된 나노튜브 기판
공정은 더욱 짧은 파장의 광원을 필요로 하게 되는데 이로 인해 다양한 기술적 문제점들이 발생한다. 특허청 반도체심사팀 정현수 사무관 042-481-5726 특허청 정책홍보팀 이홍석 초고속 AFM 리소그래피’ 개발 디지털타임스 2006-03-07 03:00:14 과학강국을 이끄는 사람들 한양대학교 이해원 교수팀극미세 나노구조물을 빠르게 형성할 수 있는 `원자힘 현미경(AFM: Atomic Force Microscope) 리소그래피 기술이 국내 연구진에 의해 개발돼 주목된
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