포토리소그래피 실험

실험1예비보고서목 차A. 반도체 제조공정 중 기존의 lithograph 공정1.Photolithography 1.2.Phothlithography 과정2. Optical-lithography의 한계3. Post- Optical lithography3.1 E-beam lithography3.2 X- ray lithography4. SPM을 이용한 나노 리소그라피 4.1 SPM을 이용한 리소그라피의 종류와 방법4.1.1 여러 가지 SPL 기술5. 나노임프린트 리소그래피6. 소프트 리소그래피 B. 잉크젯기술의 배경 및 핵심기술 1) 잉크젯기술의 장점2) 응용분야 ※은(silver)  합성 과정( polyol process)※점도

, 제어계측, 반도체, 광학③ Field Application Engineer포토장비와 IC 생산 부분에 많은 지식을 바탕으로 ASML 시스템에서 발생할 수 있는 복잡한 문제를 해결하는 역할을 한다. 새롭고 앞선 어플리케이션을 제공하여 더 나은 ASML 시스템 개발에 중추적인 역할을 한다. Lithography 분야에 많은 지식과 어플리케이션을 개발할 수 있는 능력이 요구되며, 영어로 의사소통이 가능해야 한다.지원가능전공 : 전자공학, 물리학, 재료공학과, 광학, 화학과 (석사이상)

포토 리소그래피 방식은 비용도 많이 들고 해상도에 많은 한계를 가지고 있다. 그에 반해 NIL 기술은 저렴한 비용으로 필요한 구조물을 대량 생산하는 것이 가능할 것이라 기대되고 있다. 서강대학교 바이오 융합기술 연구단이 지난 2007년에 발표한 논문 Fabrication of Nanopatterns for biochip by nanoimprint lithography, Korean J. Biotechnol. Bioeng. Vol. 22, No.6, 433-437(2007)에 따르면 이러한 나노임프린트가 바이오칩을 제작하는데 어떻게 적용될 수 있는지를 보여주고 있다.

실험 및 분석과정에 대한 연구개발 비용을 절감할 수 있다는 장점이 있으나 앞으로 2~3년 후에나 실용화 단계에 접어들 것으로 보인다.2. 바이오 칩의 분류*마이크로플루이딕스2. 바이오 칩의 분류*바이오 칩의 기술 영역3. 바이오 칩의 응용 분야*주요 응용 분야바이오 칩제약의료환경에너지식품에너지정보전자3. 바이오 칩의 응용 분야*주요 응용 분야제약 의료 분야타 분야에 비해 바이오 칩의 수요가 많고 제품 개발도 많이 진전된

실험 방향Electro spinningElectrospinningThe scheme of Solution-+PS용액을 세분화세분화 된 용액을 연신The Role of electro field-+PS: Ion: Solvent: PolymerThe scheme of electrospinning processExperimentD M FD M FELECTROSPINNINGSilsesquiazaneStyrene(PS)조건1. 7 : 3조건2. 9 : 1SSQZ + DMF PS + DMFSSQZ + DMF PS + DMF전기방사 블랜딩 ExperimentTGA 측정 접촉각측정SEM 촬영DMF에 녹인 SSQZ 7: PS 3 방사 (X2000) 열처리X200°C400°C500°C700°C접촉각145.5°133.3 °122.5°107.3°X미처리200°400°500°70