[공학] TEM의 구조 및 원리와 사용법

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목차
1. Introduction…
1.1 TEM이란?
1.2 TEM 기술의 발전
1.3 TEM 기술의 활용
2. TEM 관련 이론
2.1 TEM의 원리
2.2 TEM의 기본 구성
2.2.1 전자총 (Electron gun)
2.2.2 자기장 렌즈 (Magnetic lens)
2.2.3 형광판 (Fluorescent screen)
2.2.4 진공시스템 (Vacuum system)
2.2.5 감온시스템 (Cooling system)
2.3 TEM의 구체적 분석 방법
2.3.1 TEM의 분해능
2.3.2 TEM  분석
2.4 TEM  분석을 위한 시료 전처리
3. 전자현미경의 비교(SEM과 TEM)
3.1 전자 현미경
3.2 TEM과 SEM의 비교
3.2.1 TEM(Transmission Electron Microscopy)
3.2.2 SEM (Scanning Electron Microscopy)
4. 결론
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본문내용
1. Introduction

1.1 TEM이란?

TEM(투과전자현미경)은 평광한 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경이다. 직접배율의 범위는 통상 100배에서 100만배 가량으로 관찰하고자 하는 시편의 파장보다 파장이 더 작은 가속전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐 시편에 투과되는 전자빔의 강도 차를 분석, 형광 스크린 상에 명암이 발생하여 시편의 영상을 얻는 것이다.

<TEM(투과전자현미경)>


1.2 TEM 기술의 발전

TEM 기술의 발전은 입자물리와 전자기학의 발전과 궤를 같이 하며 이루어졌다. TEM 기술이 처음 고안된 때는 1929년 독일의 Ernst Ruska에 의해서이다. 이때 Ruska는 음극관 연구 중 직경이 0.3mm인 양극 조리개의 영상을 확대시킨 실험을 하였다. 이는 초점거리가 작은 전자기 렌즈를 처음으로 고안한 것으로 입자파동이론이 등장하기 전의 시점에서 전자빔으로 물체의 영상을 확대시킬수 있음을 증명한 획기적인 사건이었다.
참고문헌
http://www.cheric.org/PDF/PST/PT15/PT15-2-0198.pdf
http://platin.kr/110003145534
http://blog.naver.com/zeusgods?Redirect=Log&logNo=100015800635
http://en.wikipedia.org/wiki/Tem
http://blog.naver.com/nurian?Redirect=Log&logNo=50076683368
http://chbzzz7777.blog.me/130376892
http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy
http://www.unl.edu/CMRAcfem/temoptic.htm

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