[화학공학]Ge RF sputtering power에 의한 zn2GeO4 박막의 구조적, 광학적 특성(영문)

광학적 특성평가제 4절 전기화학적 특성평가제 5절 OPV 소자 특성평가제 6절 Morphology 특성평가제 6장 결 론제 7장 참고문헌표 목 차표 1. 단결정 실리콘 태양전지의 종류표 2. 다결정 실리콘 태양전지의 종류표 3. 벌크형 실리콘 태양전지와 박막형 실리콘 태양전지의 비교표 4. 소재별 태양전지 모듈 제조단가 예측표 5. P1, P2의 GPC 측정 결과표 6. P1, P2의 소자 특성 결과그림 목차그림 1. 태양광 시장 전망그림 2. 무기태양전지의 원리그림 3. 유기

박막의 가공에 적용된 기술ITO박막의 제조방법으로는 1)전자빔 증착법, 2)CVD법, 3)sol-gel법, 4)DC, RF 스퍼터링법 등이 있으며 어떤 방법을 이용하는가에 따라 제작조건과 물리적 특성이 달라진다. 그 중에서 스퍼터링법은 미세조직과 박막의 조성 조절이 용이할 뿐만 아니라 기판과 박막의 접착성이 뛰어나며 융점이 낮은 재료도 기판으로 사용할 수 있다는 장점을 가지고 있어 흔히 사용된다. 1.6. Processing Parameter1.6.1. DC Sputtering으로 ITO박막 형성 시DC Plasma

박막은 RF sputtering방법으로 ZnO target을 사용하여 증착하는 방법과, Zn metal을 이용한 reactive sputtering, 그리고 MOCVD(MetalOrganic Chemical Vapor Deposition) 방법 등이 현재 사용되고 있다. 전기 광학적 특성이 뛰어난 ITO(Indium TinOxide) 박막을 ZnO 박막 위에 증착한 2중 구조를 채택하기도 하거나 ITO 박막을 투명전극으로 사용하기도 한다. 한편고효율의 태양전지제조를 위하여 CdS 박막 위에 우선 도핑하지 않은 i형의 ZnO 박막을 증착한 다음, 그 위에 낮은 저항을 가진 n형

화학적 특성을 보인다.박막 전극 활물질의 제조방법으로는 Sputtering이나 CVD(chemical vapor deposition) 등과 같은 방법들이 주로 사용되어 왔으며, 최근 들어 Schoonman 등에 의해 개발된 Electrostatic Spray deposition(ESD)방법3)이 전극 활물질의 박막 제조에 적용되고 있다. 이러한 ESD 방법은 기존의 박막제조 방법에 비하여 저가의 비용으로 간단한 장치의 설계가 가능하고, deposition의 효율이 높으며, 전극 활물질의 합성과 표면 형상의 제어가 용이하다는 등의 장점들

특성을 모두 활용 가능6. Nono indentation 에 의한 유전자 조작 기술5.1.2. AFM 장치를 이용한 구조 분석의 장점3먼저 분해능이 나노미터 수준으로 상당히 높으며 시료 준비가 상당히 용이하며 진공, 공기 중에서 뿐만 아니라 액체상에서도 구조 관찰이 가능하다는 점이다. 특히 액체상에서 측정이 가능하다는 장점은 AFM을 이용한 생물체의 구조 분석뿐만 아니라 Force titration을 이용한 생물체의 작용기 간의 반응을 실시간으로 관찰 가능하므로 앞으로 발전