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[반도체공정] LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
throughput이 적음gas flow rate가 큼 (H2 : 250 ℓ/min)RF 전력 공급기가 고가이고 유지비가 큼저압 반응로의 장점throughput이 큼gas flow rate가 작음system의 가격이 저렴함반응로와 증착 원리그림1-1LPCVD 시스템 개략도반응로와 증착 원리LPCVD 시스템의 특성성장율은 온도에 민감 (그림 1-2)압력의 수 torr의 감
21페이지 | 2,100원 | 2010.04.26
throughputABCDEF02Understanding & ManagingThe Constraints10.2 Fundamental Principles of the TOCA constraints is anything that limits the firm from meeting its goalIncreasing throughput as measured by SALEPROCESS 1Capacity = 5 per hourPROCESS 2Capacity = 7 per hourPROCESS 3Capacity = 4 per hourPROCESS 4Capacity = 9 per hourMajor measure for operation should be on the throu
46페이지 | 3,000원 | 2012.06.16
(4G 이동통신) LTE(Long Term Evolution) 통신 완벽정리(기술, 성능, 효과, 전망)
Throughput : 릴리즈 6 대비 다운링크는 평균 3 ~ 4 배 이상, 업링크는 평균 2 ~ 3배 이상의 유저 throughput 향상을 타겟으로 한다.Spectrum Efficiency : 릴리즈 6 대비 다운링크는 평균 3 ~ 4 배 이상, 업링크는 평균 2 ~ 3배 이상의 향상을 타겟으로 한다.Bandwidth : 다양한 대역폭 지원 5, 10, 15, 20 MHz, 또한, 5MHz 보다 작은 1
12페이지 | 1,800원 | 2011.04.29
Throughput에도, 더 양질의 막을 증착하기 위해 ALD공정이 개발되었고 기존 CVD 공정을 대체하고 있습니다. 이러한 공정기술의 발전은 미세 패턴의 구현을 이끌 것입니다.삼성전자는 올해 반도체 시장점유율 세계 1위를 달성했습니다. 인재와 기술의 조화를 통하여 끊임없이 도전한 결과이며 새로운 공정을
5페이지 | 3,000원 | 2023.02.05