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[반도체 공정] Silicon wafer 실리콘 웨이퍼에 관해(A+레포트)
LG 실트론의 자료를 토대로, 알기쉬운 반도체공정, 반도체소자공정기술의 책을 참고하여레포트를 작성했음!! 실리콘 웨이퍼의 개요오늘날 반도체 소자 제조용 재료로서 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer)는 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판을
7페이지 | 1,000원 | 2008.10.07
Wafer 완성실리콘 웨이퍼다결정 실리콘으로부터 단결정봉을 성장시켜 이 단결정봉을 잘라낸 것이 실리콘 웨이퍼 입니다.현재는 반도체 소자 재료용 재료로서 공학에 사용되고 있습니다.참고로 위 그림은 반도체 공장에서 나오는 웨이퍼 사진 입니다.3실리콘 웨이퍼 제조 공정을 크게 4가지로 나눈
17페이지 | 1,700원 | 2010.09.08
Wafer의 크기는 450mm(18인치)로 1.5배 커지고, 미세공정은 32nm로 더욱 세밀해질 전망ReferenceLG실트론(www.siltron.co.kr)http://blog.naver.com/poweryous?Redirect=Log&logNo=20021082343http://blog.naver.com/jjsr1979?Redirect=Log&logNo=30000376771반도체 공정기술(생능출판사)알기 쉬운 반도체 공정(대영출판사)http://blog.naver.com/icbanklove/19
15페이지 | 1,400원 | 2011.04.06
Silicon5. Wafer Preparation6. Quality Measures7. Epitaxial Layer8. SummaryContents1단계탄소와 가열2단계MG실리콘정제3단계SGS생산 위해 지멘스 공정 이용금속급 실리콘을 생성SiHCl3생산위해 화학반응을 이용3Semiconductor-Grade Slicon웨이퍼 제작에 사용되는 실리콘은 고순도로 제정된 것으로 반도체급 실리콘(SGS)라
11페이지 | 1,400원 | 2010.09.08