실험보고서 - 발광박막제조 및 PL분광법을 이용한 특성 분석 결과 보고서
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1. 실험방법
◉ 기판 세정
① 준비된 glass를 2×2 cm2 크기로 자른 뒤, boat에 담는다.
② TCE, Acetone, Methanol, DI Water 순으로 각각 10분씩 초음파 세척을 한다.
③ 세척 후 N2 기체로 blow drying 한다.
④ 잔류 유기물과 수분을 제거하기 위해서 Convection Oven에서 10분간 건조시킨다.
◉ Spin coating에 의한 박막증착
① 유기용제에 증착을 원하는 유기물을 넣고 용액을 만든다.
② Spin coater의 전원을 켜고 덮개를 열어 세정된 기판을 중앙에 올려 놓는다.
③ RP를 사용하여 Spin coater의 회전판과 기판을 밀착시킨다.
④ 증착용액을 기판위에 떨어뜨린 후 회전판을 회전시켜 용액을 도포한다.
⑤ 도포된 용액박막을 oven에 넣어 건조시킨 후 꺼낸다.
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