박막과 증착의 정의
박막이란 전기적,결정적 특성이 양 표면에 의해 지배되는 경우이고,그 두께는 단원자층,단분자층의 것에서부터 약5μm까지를 기준으로 두나,경우에 따라서는 그 한계가 달라질 수 있다.
증착이란 액체가 증기로 되어 수송되고 성막되는 과정을 말하며,고체가 바로 증기가되어 수송되는 것을 승화라 하며,이것이 박막이 되는 기본 메커니즘이다.
박막의 제조방법
박막의 제조방법에는 음극 전해 성막법, 무전극 또는 무전기 성막법, 양극 산화법, CVD법 , 액상 에피탁시법, Langmuir-Blodgett 막 형성법, 흡착 방법이 있다
박막 이후 EL용 유기물이 증착되어 발광 pixel로 작용할 영역을 제외한 모든 영역에 절연층을 형성하는데 이는 각 pixel들이 전기적으로 독립된 구동을 가능케 하기 위함이다. 사용되는 물질로는 주로 photoresist나 polyimide와 같은 전기적으로 충분한 절연효과가 있으면서 감광 특성을 가진 고분자 재료를 사용한다. 먼저 패턴된 ITO glass 기판을 ITO 패턴공정에서와 같은 방법으로 알칼리 또는 중성세제를 사용하여 세정시켜 주고 IR/UV를 이용하여 건조시킨다.
박막 이후 EL용 유기물이 증착되어 발광 pixel로 작용할 영역을 제외한 모든 영역에 절연층을 형성하는데 이는 각 pixel들이 전기적으로 독립된 구동을 가능케 하기 위함이다. 사용되는 물질로는 주로 photoresist나 polyimide와 같은 전기적으로 충분한 절연효과가 있으면서 감광 특성을 가진 고분자 재료를 사용한다. 먼저 패턴된 ITO glass 기판을 ITO 패턴공정에서와 같은 방법으로 알칼리 또는 중성세제를 사용하여 세정시켜 주고 IR/UV를 이용하여 건조시킨다.
박막태양전지를 창문에 설치하는 것이다. 전지를 통해 생산된 전기에너지를 이용하여 추가적으로 난방기기를 운영하게 된다면 전기에너지를 직접 생산하기 때문에 비용역시 고려하지 않아도 된다는 것이다. 간단하게 부하 저감에 대해 살펴보겠다.우리가 목표로 했던 60%를 저감하기 위해서는 총 부하 7.001kW중 4.2006kW를 줄여야 했다. 먼저 온풍기를 찾아 제원을 조사해 본 결과 소비전력이 2.6kW이며 효율이 97%인 온풍기를 찾을 수 있었다. 이 온풍기 2대
대해 출력응답함수를 표현할 수는 있으나 그 결과만을 표현하기 때문에 한계성을 갖고 있기는 마찬가지다. 참고문헌강훈(2007) : 철도항공해양 자동화 및 전자 제어 시스템 기술, 대한전자공학회류지열(2011) : 고주파 집적 회로를 위한 프로그램 가능한 보상 회로, SK그룹이상관 외 1명(2009) : 전기전자공학개론, 오성미디어이상배(1984) : 전자공학 교과과정의 현황, 대한전자공학회조장희(2003) : 전자공학 5개 분야의 발전 방향, 대한민국학술원정호
증착시키는 박막제조 방식이다. PVD는 thermal evaporation, sputtering, ion-plating 등으로 크게 분류할 수 있으며, process 방식에 따라 다음과 같이 세분된다.1.2 박막공정 과정Thin film process는 오랜 기간 기술의 발전과 더불어 개별 공정 또한 상당히 다양화 되었다. 여기에서는 수많은 thin film process에 대해 모두 논의할 수 없어 thin film HIC의 공정을 중심으로 소개하도록 한다.세척(cleaning)=>증착(deposition)=>포토리소그래피(photolithography)=>식각(et
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