전자현미경이란?
주사전자현미경(SEM)이란?
주사전자현미경의 개략도
주사전자현미경의 구조
주사전자현미경 특성
광학현미경과 주사전자현미경
현미경의 빛 경로
광학현미경과 주사전자현미경
주사전자현미경의 활용
계획 사항
본문내용
높은 에너지의 전자빔을 이용.
전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치.
종 류
1. SEM(주사전자현미경)
2. TEM(투과전자현미경)
진공 중에 놓여진 시료표면에 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하는 장치.
시료의 형태, 미세구조의 관찰, 구성원소의 분포, 정성, 정량 등을 분석.
주로 금속 등 도체, IC, 산화물 등 반도체, 고분자 재료나 세라믹 등 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 됨.
장 점
1. 분해능이 높기 때문에 고배율로 물체를 관찰.
2. 10~100배의 저배율 관찰.
3. 피사계 심도가 대단히 깊다.
4. 디지털 영상을 제공하기 때문에 영상의 저장
은 물론 영상에 대한 다양한 분석이 가능.
5. 다양한 검출기 및 주변기기를 장착하여 응용
분야를 확장 가능.
단 점
1. 여러 가지 복잡한 장치가 요구.
2. 전자빔을 이용하기 때문에 진공이 필수적.
3. 전자현미경은 크고 복잡하며 가격 또한 비쌈.
재료공학기초실험. SEM-SEM 을 통한 미세구조 관찰1. Backgrounds - SEM 의 원리 및 활용주사 전자 현미경(SEM)은 말 그대로 주사 전현의 상(Scanning Electron Microscope)을 화상으로 볼 수 있는 장치를 뜻한다. SEM은 상부에 위치한 E-Gun의 Filament로부터 전자빔이 방출되어 각각의 components를 지나 시료에 전자 빔이 조사되고 시료에 조사된 전자 빔과 시료에서 반응 및 반사되어 나오는 각 전자를 검출기가 검출하여 이미지로 만들어 낸다. 시료에서 반응되어 나오는 전
재료공학 기초 실험 - 주자전자현미경(SEM) 실험보고서1.실험 목적주사전자현미경(Scanning Electron Microscope : SEM)을 이용하여 재료의 미세구조를 관찰하는 방법을 학습한다.2. 실험 방법1)시험편의 준비세라믹 분말의 입자크기 및 소결체의 단면 평균 결정립 크기를 측정하기 위한 시편준비 과정에 따라 시험편을 준비한다.①시험편의 절단세라믹 분말의 경우에는 카본 테잎 위에 분말을 떨어뜨려 준비하며, 소결체의 경우에는 단면 분석을 위해 시험편
SEM(Scanning Electron Microscope)1. SEM이란? SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 관찰하는데 매우 유용하게 사용되는 분석기기 중 하나이다. 기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 분해능 (Resolution)은 illumination system의 파장, 대안렌즈나 대물렌즈의 numerical aperture(NA)에 의해 결정된다. 이러한 관계는 Abbe에 의하여 수학적으로 R = 0.61 λ/NA로서
특성과 침식 특성에 관한 연구」 한국과학기술원 (1998)6. 이중근 外 「 고 기능성 세라믹스 기술개발전략」 한국과학기술연구원 (1995)7. 김현후 外 8명 「 Triode magnetron sputtering의 제작 및 특성평가 」 한국전기전재재료학회 (2003)8. 한국 기계 연구원 재료 기술 연구소 (금속의 표면경화 기술현황, 2004)9.(주)동해플라즈마-TIN 코팅 조건10. 김영직교수님 융체제어공학 수업자료(2010)11. 1. 서론2. 사용 기구3. 논문 고찰4. 설계5. 경제적 효과6. 참고문헌
SEM(Scanning Electron Microscope) 주사 현미경목 차1. SEM이란? 2. SEM의 개발 역사3. SEM의 작동 원리4. SEM의 구성5. SEM의 분해능6. SEM의 시편준비7. SEM으로 관찰한 여러 가지 영상1. SEM이란? SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 관찰하는데 매우 유용하게 사용되는 분석기기 중 하나이다. 기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 분해능 (Resolutio
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