전기전자 - 반도체 소자의 제작공정 & MEMS

제작하였다. 전기적 특성 분석 시 W=200um L=15um를 넣어 계산한 결과 약139 cm²/VS 의 effective mobility를 나타내었다. Ci를 측정하지 않고 계산하였기 때문에 약간의 오차는 있을 것이며 일반적으로 MIM구조를 만들어 Ci 값도 측정했어야 더 정확하게 나왔을 것이라 생각된다. Conclusion – 전기적 특성IntroProcessResult & Discussionconclusion참고문헌on/off ratio 는 4120 정도의 값을 보였는데이는 off current 의 양이 많기 때문이다. 일반적인 MOSFET 의 on/off ratio 10^6 정도의

1 Selected Topics in Electronics and Systems ; V. 40by Shur, Michael. Rumyantsev, Sergey L. Levinshtein, M. E.- Thin film technology handbook (공)저: Aicha Elshabini-Riad,Fred D. Barlow chapter5 p.8-9* Deep depletion- Comprehensive study on the deep depletion capacitance-voltage behavior for metal-oxide-semiconductor capacitor with ultrathin oxides, Cheng, Jen-Yuan; Huang, Chiao-Ti; Hwu, Jenn–Gwo, Journal of Applied Physics ,Oct2009 Volume 106 Issue 7 Pages 목차Ⅰ. 실험 목적Ⅱ. 시편의 제작Ⅲ. I-V 그래프 측정Ⅳ. C-V 그래프 측정Ⅴ. 결론Ⅵ. 참고

반도체 강국임에도 불구하고, 이로 인해 핵심 부품인 MEMS 소자는 대부분 수입에 의존하고 있는 실정이다. 일례로 S사와 L사가 모바일 기기용 MEMS 소자의 상위 5위권 내에 있는 수요 기업이지만, MEMS 소자의 공급 업체 상위 30위권 내 한국 기업은 없다. 다소 늦은 감이 있지만, MEMS 센서 관련 대형 국가 연구개발 사업이 마련된다고 하니, 출발은 늦었지만 우리나라 연구 개발자들만이 가진 고유의 의지와 기업의 저력으로, MEMS 센서의 국산화는 물론 세계를

, 2001.전자부품연구원, 마이크로센서 산학연 기술교류회 자료집, 2001.5.정보통신기술개발계획위원회, 중장기계획 분과위원회 보고서(원천기초 분과), 2001.11.정보통신연구진흥원, IT-BT 융합 기술개발기획 연구, 2002.4.한국과학기술정보연구원, 바이오칩, 핵심정보분석, 2002.12.Cahners In-Stat Report, A MEMS Industry Overview and Forecast, 2001.In-Stat/MDR, BioMEMS : Revolutionizing Medicine and Healthcare, 2002.2.이성호 박사 / 나노종합팹센터, 바이오멤스 분야의 응용과 개발 동향

전자(반도체)기술, 기계 기술, 광기술 등을 융합하여 Micro단위의 작은 부품 및 시스템을 설계, 제작, 응용하는 기술을 일컫는다.- Size Domain 상으로는, Micro 영역에 해당된다.최소수 밀리 이상의종래의 기계 부품 또는 시스템MEMS 기술나노(nm) 영역인 분자소나 탄소나노튜브MEMS 기술의 장점- 반도체 공정을 모태로 하므로, WAFER 상에 일괄 제조할 수 있다. - 한 개의 칩에 여러 개의 기능소자 및 신호처리부 등을 집적화 할 수 있다.- 동시에 다량 제조