AFM 측정 모드별 장단점비교와 특성,NSOM장비의 작동원리와 응용 분야에관한 리포트
- 등록일 / 수정일
- 페이지 / 형식
- 자료평가
- 구매가격
- 2012.06.24 / 2019.12.24
- 4페이지 / hwp (아래아한글2002)
- 평가한 분이 없습니다. (구매금액의 3%지급)
- 2,000원
최대 20페이지까지 미리보기 서비스를 제공합니다.
자료평가하면 구매금액의 3%지급!
1
2
3
4
- 하고 싶은 말
- AFM 측정 모드별 장단점비교와 특성,NSOM장비의 작동원리와 응용 분야에관한 리포트
- 목차
-
1. AFM 측정 모드별 장단점 비교와 특성에 대해 서술하시오.
(1) AFM(Scanning Force MicroScope)의 원리
① Contact Mode의 원리
② Non-Contact Mode의 원리
③ Tapping Mode의 원리
(2)AFM 측정 모드별 장단점 비교
2. NSOM장비의 작동원리와 응용 분야(예)를 설명하시오.
(1) 작동원리
(2) 응용분야
- 본문내용
-
1. AFM 측정 모드별 장단점 비교와 특성에 대해 서술하시오.
(1) AFM(Scanning Force MicroScope)의 원리
'AFM'는 텅스텐 또는 백금으로 된 탐침대신 나노기술로 제조된 프로브를 사용하는데, 이 프로브는 프로브의 모판(substrate) 끝에 아주 미세한 힘(나노뉴톤)에서 쉽게 휘어지는 판형 스프링
(cantilever) 끝에 원자 몇 개 정도의 크기로 끝이 가공된 탐침(tip)을 붙였다. 이 프로브 탐침의 끝을 샘플 표면에 근접시키면 그림1과 같이 끌어당기는 또는 밀어내는 여러 가지 힘이 샘플표면의 원자와 탐침 끝의 원자사이에 작용하는데, 이 힘에 의해 캔티레버의 휨이 발생하고, 이 힘이 일정
△그림1. Sample과 Probe사이의 거리 및 작용하는 힘들 하게 유지되도록 하면서 귀환회로에 의해 정밀제어하면서 각 지점(x, y)에서 스캐너의 수직위치를 저장하여 샘플표면의 삼차원 영상을 얻을 수 있는 원리다.
① Contact Mode의 원리
이 모드는 그림2와 같이 분리된 포토다이오드 검출기로 캔티레버가 편향되는 변화정도를 모니터링하면서 샘플표면에 대해 캔티레버 끝에 부착된 팁을 주사하여, 귀환회로가 초기에 설정한 편향값 (초기에 설정한 캔티레버의 휨)을 유지하도록 하기 위하여 각 (x, y) 데이터 지점에서 스캐너를 수직으로 움직이면서 캔티레버가 시료 표면에 대하여 일정한 편향이 유지되도록 하여, 팁과 샘플간의 힘이 일정하게 유지 하여 항상 팁과 샘플간의 간격이 Coulomb Force 대역에서 유지된다.
△그림2. CONTACT MODE의 FEEDBACK 회로 이때의 힘 F는 후크의 법칙으로부터 F=-kx가 된다. (F=힘, K=스프링상수 , X=캔티레버의 편향) 각 지점 (x, y)에서 스캐너의 수직으로 움직이는 거리를 컴퓨터에 저장하여 샘플표면의 3차원 영상을 얻는 원리인데, 이 기술은 도체뿐 아니라 부도체에도 적용된다. 그러나 이 기술은 연질의 시료에서는 샘플표면에 흠을 준다.
② Non-Contact Mode의 원리
이 모드는 Van der Waals Forces의 인력을 이용하기 때문에 원자 간의 인력의 크기가 매우 작아 Contact Mode처럼 캔티레버의 편향을 측정하기가 어려우므로 캔티레버로부터 AC 신호를 얻어 측정하기 위해 수 나노미터의 진폭으로 캔티레버의 공진 주파수 근처에서 캔티레버를 진동시키면서 샘플표면에 대하여 진동하는 팁을 주사하는데, 이때 팁은 주사하는 동안 샘플표면의 흡수층위에서 비접촉 상태에서 진동한다. 샘플표면의 높이 변화에
- 참고문헌
-
Jing Chen*, Litian Liu, Zhijian Li, Zhimin Tan,
Qianshao Jiang, Huajun Fang, Yang Xu, Yanxiang
Theo Baum and David J Schiffrin, J. Micromech.
Microeng. 7, 338 (1997).
[12] http://cleanroom.byu.edu/KOH.phtml.
자료평가
-
아직 평가한 내용이 없습니다.