[나노공학] 논문요약-이차이온질량분석기의 깊이 분포도를 이용한 동선의 열적 확산에 대한 연구
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- 목차
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1.What is SIMS?
2.Structure
3.Ion Energy analyzer
4.Mass Analyzer
5.Depth Profile
6.SIMS vs. Others
7.장점 & 단점
8.Application
9.SIMS를 이용한 동선의 열적 확산
10.Conclusion
11.Q&A
- 본문내용
-
장점
- Depth profile
- 모든 종류의 원소, 동위 원소 검출 가능
- ppb까지 분석
이온 영상 mapping, line scanning 가능
단점
분석시 많은 시간과 돈이 소요됨
시료 파괴
- 반도체 doping profiling
- 표면 원소의 규명
- 금속 재료의 불순물 비교조사
- 고분자 화합물의 조성
600V 2종 비닐 절연전선(HIV)의 과전류에 의한 열적 산화 및 흡착에 대해 분석
Cs+ 일차 이온빔을 사용하여 depth porfiling
일반동선 / PVC가 코팅된 동선의 열적 확산 비교
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