[인쇄정보공학] Nano Imprint 기술의 현황과 전망
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추천 연관자료
- 목차
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1.Nano imprint 란?
2.Nano imprint 분류
3.Nano imprint 공정
4.나노 Patterning
5.스탬프
6.Nano Imprint 장비
7.Nano Imprint 기술의 응용
8.요약 및 전망
- 본문내용
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나노 임프린트란?
Nano 분말인 Nano Imprinting lithography는 Nano scale의 초미세 pattern의 전자회로배선을 형성시킨 기술이다. 기술적으로는 매우 단순한데, 요철을 만드는 방법과 유사한 방법으로, 기판 위에 Nano scale의 구조를 가진 resistor(stamp, 주형)를 얹고 가열하여 녹인다. 이런 후, resistor 부분을 반응성 Ion Etching 법(RIE)으로 제거하고, 기판 전체에 금속 증착을 하여. 금속배선을 제작하는 방법을 말한다.
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Nano Imprint 전망
광통신 부품
디스플레이용 부품
초고속 고밀도의 정보 저장 매체
바이오 센서, 바이오 칩, 마이크로 및
나노 유체 채널들
고분자 메모리, 유기박막 트랜지스터,
RF ID 태그등의 유기 전자 소자
- 참고문헌
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http://infosys.korea.ac.kr/ippage/p/ipdata/2005/08/file/p200508-501.pdf
http://www.kosef.re.kr/community/suica/upload/294_pdf_4.pdf
http://www.cheric.org/ippage/p/ipdata/2005/08/file/p200508-201.pdf
http://www.cheric.org/ippage/p/ipdata/2005/08/file/p200508-101.pdf
http://infosys.korea.ac.kr/ippage/p/ipdata/2005/03/file/p200503-201.pdf
http://www.fajournal.com/main/bbs/buyer_content.asp?b_no=340&b_cat=0722&tcode=AC&search=&search_Box=&page=1
http://www.esco.co.kr/board/view.php3?id=7&code=whatnano&start=0
http://cafe.naver.com/mctnet.cafe?iframe_url=/ArticleRead.nhn%3Farticleid=3523
http://kin.naver.com/open100/db_detail.php?d1id=1&dir_id=1&eid=lZkuDGhy8zLP+kTXqC3tGMZ7pwrKTM0v
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