‘OH 밀도 (OH concentration) 대기압 플라즈마 젯 (Atmospheric Pressure Plasma Jet)’ 에 대한 검색 결과 입니다.
레포트 (1)
Plasma-enhanced CVD 플라즈마 원리를 이용하여 화학 기상 증착을 함.증착 온도가 굉장히 낮음.박막의 질이 낮음.산화물(oxide) or 질화물(nitride)에 사용.가열기전극웨이퍼전극RF 동력 입력가스 배출구, 펌프가스 주입구(SiH4, O2)플라즈마화학 기상 증착법(CVD):APCVDAtmospheric Pressure CVD.대기압 상태에서
20페이지 | 1,000원 | 2009.10.14
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