[레포트]isrc 실습 보고서

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하고 싶은 말
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본문내용
▶실험 목표
반도체 Process를 이용하여 기본적인 MOS capacitor를 제작하고, C-V 특성을 측정함으로써 반도체 공정을 기본적으로 이해할 수 있도록 한다.

▶실습에 쓰인 장비 및 주의사항
☞장비

Marking & resistivity 측정
Laser Masker & 4-point probe
Cleaning
Wet Station
Oxidation & oxide thickness 측정
Furnace & Ellipsometer(M-2000V)
Backside oxide etch
Dry Etcher
Metal deposition
Endura sputter
Photo lithography
Nikon stepper & Aligner
Metal wet etching
Wet Station(WA-1B)
PR Strip & metal thickness 측정
Wet Station(WS-10C)
C-V 특성
HP4280A


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