[고체물리] X- ray diffractometer [XRD] 의 구성
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X- ray diffractometer (XRD) 의 구성
<1> 일반적으로 Generator, Goniometer, Monochromator, 검출기, 계수기록회로로 구성.
1. X-ray Generator (X선 발생장치)
1) X-ray Tube (X선관)
: x선관은 열전자 2극 진공관의 일종이다. 가열된 음극(일반적으로 텅스텐 필라멘트 사용)으로부터 나온 열전자를 가속시켜 Target(대음극) 에 충돌하면서 X선이 방사된다.
① Sealed-off X-ray Tube (밀폐형 Tube),
회전양극 X-ray Tube (Rotating anode)
: 열전자를 방출하는 텅스텐 필라멘트의 수명을 길게하고, Target 표면의 오염을 방지하기 위하여, 내부는 고진공으로 되어있다.
② 냉각
: 전자가 가지고 있는 Energy의 0.1% 정도는 X선으로 변환 되지만, 대부분은 열로 변환되어 없어진다. 이러한 이유로 Target 표면을 물로 냉각시킨다.
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