[열전달 실험] IR Camera 실험
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- 2011.03.15 / 2019.12.24
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- 목차
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목 차
1. 실험목적
2. 주의사항
3. Noise 줄이는 방법
4. IR 카메라의 온도 보정방법
5. IR camera로 촬영한 사진 분석( 온도분포, 시간에 따른 변화등)
- 본문내용
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리니어 어레이 센서 (Linear Array Sensor)
LiTaO3 단결정이나 PbTiO3 세라믹 판을 이용한 리니어 어레이 센서가 제작되어 있다. 두께 30㎛의 PbTiO3 세라믹 판을 100㎛의 피치에서 다이싱에 의해 분해하고 봉상으로 한 element를 나란히 배치한 32 또는 64화소의 리니어 어레이가 제작되었다. 비검출능은 32화소의 것에서 10Hz에서 약 5×107cmHz1/2/W로써 포인트 센서에 비해 1/2~1 order 작다. 또한, cross torque는 32화소의 것에서 10Hz에서 0.1정도이었다. 게다가 Pb(Sn0.5Sb0.5)O3에서 변성한 PZT 세라믹 판(두께 0.15mm)의 한 쪽에 1.4mm폭으로 홈을 넣은 범용구조의 리니어 어레이 센서가 만들어졌다. cross torque는 10Hz에서 2%로 하는 것이 가능하다. 또한, LiTaO3 단결정 판에15mil 사이 폭으로 전극을 32개로 나열한 리니어 어레이 센서가 만들어졌다. 트랙 등의 움직이는 대상물의 렌즈에서 결상된 적외상 리니어 어레이 위를 주사함으로써 적외 이미징이 가능하다. 20~30㎛ 두께의 초전체 세라믹스 판에 홈을 넣어 섬 형태로 배열하여 흡수열의 인접화소로의 전도에 의한 분해능 저하를 막을 수 있도록 한 리니어 어레이 센서가 만들어지고 있다. 검지 element에 적외광이 조사되어 보상용 element에 연결하고, 출력은 온도 드리프트나 진동에 의한 노이즈가 소거된다. 200㎛각, 250㎛ 피치의 PZT의 element가 가능하다.
16개의 어레이를 전극 위에 PbTiO3 박막을 스퍼터링으로 성장시킴으로써 어레이 센서가 제작되었다. 그림 6은 Si 기판을 이방성 에칭에 의해 제작한 캔틸레버 구조
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