OTFT(Organic Thin Film Transistor) 실험결과
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- 목차
-
1,Introduction
2, Experiment
3, Analysis
4,Reference
- 본문내용
-
실험목적
Organic Material을 이용하여 Semiconductor Layer와 Dielectric Layer를 증착시켜 봄으로써 Organic TFT 제작 공정을 이해한다.
VT, Mobility, On-off ratio를 통해 제품 특성을 평가하고 유기물과 무기물로 증착한 Dielectric Layer의 차이를 비교해 볼 수 있다.
Pentacene (C22H14)
- Melting point : 300 ℃
- Boiling point : 525 ℃
- Molecular weight : 278.35
- Do not dissolve in water
- Slightly dissolved in organic solvents
- Optical band gap : 2.2eV
Prepare : PI#4, Si Wafer#4
1. Cleaning
∙ Wafer Cleaning : Acetone, Alcohol, DI water 5min
∙ Blowing : 표면 불순물 제거
2. Negative PR coating
∙ PR Coating : Spin coating (1step-2000RPM, 10sec,
2step-7000RPM, 110sec, 1h release)
∙ Soft bake : 65℃, 5min
∙ Hard bake : 95℃, 20min
∙ Expose : 310W, 15sec
∙ Post Expose Baking : 65℃ 2min -> 95℃ 8min
∙ Development : Acetone 계열 1min + 10sec C2H2O4(Oxalic acid) 30sec
3. 관찰, Plasma Ashing
: Vacuum, 500W, O2 1500sccm, N2 500 sccm
4. Adhesion Layer Deposition
∙ Cr 20nm by Sputtering - 800W, Ar 50 sccm, 10sec
5. Gate Electrode Deposition
∙ Au 70nm Deposition by Thermal Evaporator
6. Lift Off
- 참고문헌
-
유기전자소자 OTFT, 전자통신동향분석, 제 20권 5호, 2005년 10월
유기전자공학의 연구현황과 시장전망, 송정근 교수, 동아대학교 전자공학과
OTFT를 이용한 All Organic Display의 연구동향, 도이미, 최종선
Stretchable and foldable silicon integrated circuit, 안종현
TFT-LCD 제조공정 및 기술
Sol-Gel법을 이용한 박막제조, 이진홍, 경북대학교 무기재료 공학과
Organic Thin Film Transistors, Materials, Processed and Devices, B.Chandar Shekar, Jiyeon Lee and Shi-Woo Rhee
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