[화학] 진공증착 결과 레포트

레포트를 쓰면서 그에대한 이론을 공부하게 되었는데 탄소나노튜브는 연구역사가 비교적 짧지만 가볍고 유연하며 강하고 열이나 화학적인 면에서도 미래지향적인 신소재가 아닐수없는것같다.이러한 신소재가 발전함에 따라 이와 관련된 다른 과학적 분야도 발전될것으로 보인다.나사에서는 탄소나노튜브를 이용해 우주엘레베이터를 만들겠다는 발표를 했다고 한다. 탄소나노튜브를 이용하면 무너져버리거나 외부충격에 부러지는 문제점을 해결할

화학에서 배웠던 mean free path 라는 이론을 직접 진공증착 기기를 이용해 실험해 볼 수 있었다. 챔버 안에서 일어나는 증착 과정은 전혀 눈으로 관찰되지 않았으나, 고체 시료가 진공상태에서 증기로 증발되어, substrate까지 가서 박막이 형성되었다. 이러한 챔버를 진공상태로 만들기 위해서는 진공펌프가 사용된다. 로터리 펌프랑 디퓨전 펌프를 이용해서 압력을 떨어뜨리게 되고, 압력 변화가 일어나지 않는 지점부터 boat에 전압을 걸어서 실험을 하였다.

증착시키는 것이고 조금 더 복잡한 방법으로는 각각의 원료 물질을 cell(effusion cell)에 넣은 다음에 cell의 문을 열고 닫는 것으로 원료물질을 열, 레이저, 전자빔 등을 통해 기체 상태로 날려서 보내고 날아간 원료 물질이 기판에 닿았을 때 고체 상태로 변화됩니다. 이때 일단 기판에 붙은 물질의 화학적 조성은 기판에 도착한 기체상태의 물질의 조성과 같다.PVD는 증착시키려는 물질을 기체 상태로 만들어서 날려 보내는 것이므로 진공 상태에서 해주어

화학반응⑦ 표면에서 부산물 제거 : 표면 반응의 부산물 제거⑧ 반응기에서 부산물 제거 : 증착 면과 반응기의 출구방향에서 분리되어서 대량의 가스가 흐르는 구역 내에서의 부산물 대량 전송예를 들어, 다음에 이어지는 3가지 반응을 위해 첫 번째 가스 단계 반응은 실란을 분해한다. 그 결과 실리콘 수소화물 전구체가 생성된다. 이 전구체는 디실레인 형태에서 실레인으로 반응한다. 중간에 일어나는 CVD반응 동안에 실리콘 수소화물은 실레인과 함

결과이다.2. 다른 증착 방법(Physical method)※스퍼터링(sputtering) 증착법고 에너지의 입자를 원하는 박막과 동질인 물질로 이루어진 기판에 충돌시켜 그곳으로부터 원자와 분자가 떨어져 나와 박막을 만드는 방법을 말한다. VLSI의 금속 박막 증착에 많이 사용되어지며, 경우에 따라서 Si, SiO2 등의 박막형성에도 이용된다.장점: 넓은 면적에서 균일한 박막두께 증착 가능박막 두께의 조절이 비교적 용이함진공증착에 비하여 보다 정확한 합금 성분