[진공기술, 진공, 진공펌프, 진공장치, 진공도측정도구, 피라니게이지] 진공기술의 응용과 진공펌프의 분류 및 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지에 관한 분석

장치○ 부르돈관 방식의 압력계● 가장 보편적으로 많이 사용되는 압력계 중 하나로서 이번 실험에서는 펌프로부터 공급되는 압축공기의 측정하기 위해 사용된다. 즉 Labview 화면상에서 나타나는 압력에 해당하는 Volt값과의 비교를 위해 사용된다○ 레귤레이터● 압축공기의 압력을 조절하기 위해 사용되며 장치에 부착된 밸브의 조절로서 실험 장치 내로 유입되는 공기의 압력을 조절하게 된다.○ 압력센서● 압력센서는 스트레인 게이지를 격막

장치이다. 그 원리는 손잡이로 내부 스프링을 조절하여 그 스프링의 힘조절에 의해 압력을 조절한다. 이때 스프링의 힘이 손잡이에 작용하므로 위로 뽑아 올리면서 조절하는 것이 레귤레이터에 큰 무리가 가지 않는다. 그 옆에는 공기압을 차단하는 밸브가 있다. ② 압력센서⇨스트레인 게이지를 격막에 부착해서 압력에 따른 변화를 이용하여 압력을 측정한다. 증폭기가 내장되어 있어 실험에서는 영점조절 및 스팬조절을 하지 않고, 제조사에서 공

및 장치진공펌프 (1. 오일 회전 펌프)오일 회전 펌프는Chamber 안의기체를 대기압보다약간 높은 지점까지압축, 배기 함으로써 기압을 낮춘다.진공펌프 (2.오일확산펌프)-실험의 기구및 장치확산 펌프는 대기상태에서작동하지 않으며,기계적 펌프가 대부분의공기를 제거한 후10-3torr에서 작동한다.게이지측정장치(이온게이지&피라니게이지)-실험의 기구및 장치hot filament가 열전자를 방출기체분자들과 충돌하여 이온화 ㅡ>이온화하면서 떨어져

기술이 진화한다   고집적 나노급 반도체 제조를 위해 기존 기술의 한계를 뛰어넘는 원자층증착기술에 관한 특허출원이 급증하고 있는 것으로 나타났다. 10. 최근 연구 동향 원자층증착기술(ALD, Atomic Layer Deposition)은  - 웨이퍼 표면에 원자층을 한 층씩 쌓는 방식으로 박막을 증착시키는 첨단 증착기술로서, 수 Å(1Å=0.1nm=10-10m) 단위의 극히 얇은 막을 증착시킬 수 있을 뿐만 아니라 공정사이클 횟수 조절을 통해 막 두께를 정밀

측정하는 고압계에는 이밖에도 압축압력계저항압력계부르동관 등이 있다. 피스톤을 갖춘 실린더 속에 등유(燈油) 등의 기름을 끌어들여 피스톤의 바닥면을 밀어올리는 압력과 피스톤 및 그 위에 얹어 놓은 분동의 무게를 평형시켜서 측정한다. 액주압력계로는 측정할 수 없을 정도의 높은 압력을 측정할 뿐 아니라 다른 압력계의 눈금교정에도 사용된다.③ 실험 장치부르동관 압력계, 레귤레이터, 공기펌프․ 레귤레이터는 allsensor社의 제품으로