레포트 (12)
포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대해서
Contact aligner이라 부릅니다. 즉 마스크와 PR을 접촉시킨 상태에서 자외선을 조사시키는 거죠. 근데, 패턴사이즈가 1um이하이거나 같은 형상이 계속 반복될 경우에는마스크에 원래 원하는 패턴 사이즈 4배로 확대해서 만들어서 마스크랑 PR이 코팅된 웨이퍼를 적정거리로 유지하고마스크 아래위로 (그림
17페이지 | 1,800원 | 2013.12.23
print LithographyDip Pen NanolithographyMicroContact PrintingScanning Tunneling MicroscopySerial/ParallelParallelSerialParallelSerial or ParallelParallelSerialMaterial FlexibilityNoNoNoYesYesLimitedResolution~35 nm~15 nm~10 nm14 nm~100 nmAtomic?Registration AccuracyHighHighHighExtremely HighLowExtremely HighSpeedVery FastModerateFastSlower, but scalableFastVe
21페이지 | 1,700원 | 2009.06.15
[나노기술] 리소그래피의 종류와 문제점 및 해결 방안 -Nano Imprint Lithography
리소그래피1)소프트 리소그래피란?탄성 중합체로 만들어진 스탬프를 이용하여 30nm부터 100μm 사이의 패턴 또는 구조물을 생성하는 공정2) 종류v나노 각인 리소그래피(NIL, NanoImprint Lithography)v마이크로 접촉 인쇄 (μCP, MicroContact Printing)v복사조형(REM, Replica Molding)v마이크로 전사 조형 (μTM, Microtransfer Mol
28페이지 | 2,100원 | 2006.09.25
접촉에 의해서 직접적으로 패턴을 구현하기 때문에 회절이나 간섭 등의 현상에 의한 패턴 해상도 저하의 문제가 일어나지 않는다.이러한 한계 때문에 대안적인 미소 구조물 제작기술로 소프트 리소그래피(soft lithography)라는 미소 구조물 제작기술이 실험되고 있다. 미소접촉인쇄(microcontactprinting), 복제
63페이지 | 2,800원 | 2006.09.25