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[화학공학] 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
오존수와 고체산 (Sol-Gel 법)을 이용한 Wafer 세정The contents of presentation문제제기- 목 표- 반도체 웨이퍼 세정공정- RCA법의 원리와 문제점- 1단계 : 고체산 세정 공정- 2단계 : 오존수 세정 공정- 공정 평가 및 분석- 결론Group No. 14 문제 제기Group No. 14 - 반도체의 집적도 증가에 따라 미세 오염물 제거
32페이지 | 2,400원 | 2008.06.27
[화학공학] 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정 문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지).반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성지표면 오존의 심각성(오존주의보)목표웨이퍼 세정에서 파
24페이지 | 2,100원 | 2008.06.27
세정작용③산소 오존 및 과산화수소 등에 의한 산화 작용④자외선에 의한 살균자용⑤광합성에 의한 CO2와 O2의 교환작용7)Mills-reincke현상 음료수를 정화처리(여과)하여 급수하는 것에 의하여 장티프스 등의 수계전염병의 발생 률이 감소되고 일반사망률이 현저히 저하되는 현상. 1983년 9월 미국 Massach
24페이지 | 1,000원 | 2007.04.05
수면은 30~100㎝ 상승할 것으로 예상된다.둘째, 오존층파괴에 따른 생태계의 교란과 피부암 등의 문제이다.정밀세정제, 할론 등에 의해 성층권의 오존층이 파괴됨으로써 태양으로부터의 자외선이 오존층에 의해 걸러지지 않고 지구에 도달하면 백내장과 피부암을 유발하고 면역기능의 약화와 자연생
9페이지 | 800원 | 2016.04.16
[재료열역학] Supercritical Fluid(초임계 유체)
수적이다. •상평형이나 물질 이동 특성 등의 기본 물성 데이터가 부족하다.②Supercritical fluid를 이용한 건식 세정 기술기존의 반도체 세정 기술은 습식 세정 기술로서 많은 에너지를 소모하고 공정 후에 폐수를 발생 시키고 오존층 파괴를 유발하는 등의 단점이 있었다. 그런 단점들을 극복하기 위해
6페이지 | 1,100원 | 2010.08.07
오존(O3)0.0090.0170.019이산화황(SO2)0.0510.0060.005일산화탄소(CO)2.61.00.5③산성비-공장이나 자동차에서 나온 이산화황, 질소 산화물 등이 공기 중의 수증기에 섞여 있다가 비나 눈, 안개, 이슬에 황산이나 질산 성분이 되어 내리는 현상-산성비 피해=산성비가 심한 일부 지역에서는 침엽수림이 고사
67페이지 | 2,500원 | 2013.03.24
오존 분자들을 파괴할 수 있다는 연구결과가 발표되자 1978년 미국, 노르웨이, 스웨덴, 캐나다에서 CFC 사용이 금지되었다. 1985년 남극 대륙 상공의 오존층에 구멍이 생겼음을 발견하고 국제연합 환경계획이 몬트리올 의정서를 기초하였다. 또한 바젤협약(Basel convention)은 1989년 3월 유해폐기물이 국경 간
13페이지 | 5,000원 | 2019.09.13
수면이 25-140㎝가 상승할 것으로 예측했다. 실제로 환경단체인 그린피스의 보고에 의하면 미국 알래스카의 빙하가 금세기 동안 130㎢의 면적이 녹았다고 한다. 그리고 온난화와 아울러 1970년대 초 성층권을 비행하는 초음속 항공기개발 계획과 함께 제기된 오존층 파괴의 문제가 있다. 오존은 산소원자 3
10페이지 | 3,900원 | 2019.03.28
수식 냉난방기를 사용할 경우, 하절기 피크 전력부하를 줄일 수 있고 또한 가스 수요가 적은 하절기 가스 수요를 증대시킬 수 있어 전체 국가에너지 수급차원에서 매우 효율적이다.친환경적인 관점에서 볼 때, 증기압축식 냉동기의 작동유체로 사용되는 대부분의 냉매가 성층권의 오존층파괴와 지구
19페이지 | 2,500원 | 2017.03.16
오존농도는 평소보다 20% 낮다고 보고됐다. 온실효과로 인한 지구온난화 역시 오늘날 중요한 환경 문제 중 하나로, 수십 년 전부터 전 세계가 주목한 범세계적 현상이다. 지구의 평균온도는 1℃씩만 올라가도 해수면 상승, 생태계 파괴 등 여러 가지 위험한 변화가 생기고, 6℃가 오르면 돌이킬 수 없는
12페이지 | 2,000원 | 2017.03.04
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