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반응을 분석하여 silicon nitride의 두께가 capacitance나 전류에 어떤 영향을 미치는지 알아보기 위함을 본 실험의 주 목적으로 한다.실험 장비시편 제작에 사용한 장비PECVDCVD(화학증착)는 Pack cementation, Thermal CVD, 플라즈마 CVD로 크게 나눌 수 있다. CVD의 기본 원리는 증착하고자 하는 물질을 함유하는 반응
16페이지 | 1,400원 | 2012.03.05
반응을 분석하여 silicon nitride의 두께가 capacitance나 전류에 어떤 영향을 미치는지 알아보기 위함을 본 실험의 주 목적으로 한다.실험 장비시편 제작에 사용한 장비PECVDCVD(화학증착)는 Pack cementation, Thermal CVD, 플라즈마 CVD로 크게 나눌 수 있다. CVD의 기본 원리는 증착하고자 하는 물질을 함유하는 반응
16페이지 | 1,700원 | 2011.08.18
반응을 통해 플라즈마를 유지하고 그 밀도를 높혀주는 역할을 담당하게 된다. 즉 낮은 압력 및 기본 전압에서도 플라즈마 밀도를 높일 수 있고 sputtering 현상 자체를 수치묘사할 수 있는 정량적인 모델은 아직까지 명확하게 정립되어 있지 않다. 따라서 본 연구에서는 magnetron plasma 자체에 대한 수치해석
8페이지 | 1,500원 | 2015.02.06
플라즈마 화학기상증착식: 열화학 기상증착식과 유사한 방법이지만 반응 온도를 낮추기 위해 고주파 전원으로 플라즈마를 발생시켜 반응가스를 분해시킨다. 400~500 ℃의 상대적으로 낮은 온도에서도 탄소나노튜브를 생산 할 수 있다. 탄소나노튜브 관련 연구개발 동향 탄소나노튜브에 관한 연구는
7페이지 | 800원 | 2015.06.27
플라즈마에 의한 반응을 이용한 에칭 공정을 의미한다. 건식 식각(乾式蝕刻)이라고도 한다.웨트 에칭(Wet etching)이란 목표 금속만을 부식 용해하는 성질을 가지는 액체의 약품을 사용하는 에칭이다. 습식 식각 (한자: 濕式 蝕刻)이라고도 한다. 주로 프린트 배선판제조, 금속 명판제조, 반도체 소자제조
3페이지 | 800원 | 2015.06.27
ICP Inductively Coupled Plasma 1. 유도결합 플라즈마의 원리유도결합플라즈마(ICP)의 원리는 주로 석영 등의 유전체 반응기 외부에 코일을 감아 전기장을 변화시키면 코일의 내부에 유도자장이 발생하게 되고 그에 따른 2차 유도전류가 반응기 내부에 형성되는 것을 이용하여 발생시키는 고밀도 플라즈마
3페이지 | 1,000원 | 2013.12.23
반응하여 떨어져 나간다. 건식방법으로는 에너지가 있는 것이면 모두 이용가능하나 물질이 이 에너지를 견뎌야 되고 보통은 플라즈마를 이용하여 가스를 분해하여 반응성 물질(F, Cl, Br)을 만들어 etching한다. 이번에 설계하고 분석하려는 Al Etching chamber는 IC, Semiconductor제조에서 원하는 구조를 만들기 위
23페이지 | 2,100원 | 2009.08.27
반응가스의 비율을 변화시키고 플라즈마의 출력을 100 W 정도로 높여서 다결정 실리콘을 직접 증착하는 방법이다. 이 경우에는 300 ℃내외 저온에서 다결정 실리콘이 짧은 시간동안 직접 증착되는 장점이 있으나, 결정화도가 낮고, 그레인의 크기가 균일하지 못한 단점이 있다.(4)의 경우 연속발진레이
17페이지 | 1,400원 | 2010.02.10
플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공 등의 특성이 있다. 진공기술의 응용범위는 전 산업에 걸쳐 있으며 반도체의 집적도가 높아지고 양자소자 개발 등 첨단기술이 발전하면서 그 중요성은 날로 증가하고 있다. 다음은 진공기술이 응용되고 있는 대표적 분야들이다.첨단산업 : 반도체, FE
9페이지 | 1,800원 | 2013.12.23
반응으로 만들어진 1억 도 이상의 고온의 플라즈마를 가두기 위해 쓰일 것이라고 알려주고 있으며, 이다음은 현재 주위에서 상용화 되어 쓰이고 있는 LED, 마지막으로 나노 테크놀로지에 대해 나와 있다. 나노 상태에서는 우리가 눈으로 볼 수 있는 물질의 상태와 다르기 때문에 각광받고 있는 것이다.
2페이지 | 800원 | 2015.03.29