Micro-scale patterning 실험
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- 목차
-
1 목적
2 이론
3 기구 및 시약
4 실험방법
5 주의사항
6 참고문헌
7 질의응답
- 본문내용
-
1 목적
목적
실험을 통해 유기물질을 이용한 마이크로 수준의 패턴을 만드는 법을 배우고 이해한다.
(중략)
2 이론
Photolithography
★ 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이
빛을 받으면 화학반응을 일으켜서
성질이 변화하는 원리를 이용
★ mask를 사용하여 빛을 선택적으로
PR에 조사함으로써 pattern을 형성
★ 모든 공정 step이 각종 particle에 대해
매우 취약
청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다
중요한 공정
①Cleaning 공정
불순물을 제거하는 세척과정
②Spin Coating 공정
Spin 방식에 의하여 PR을 wafer위에
균일하게 코팅하는 과정
③Soft Baking 공정
PR내의 solvent를 열에너지에 의해 증발시켜
점착(adhesion)을 좋게 하는 과정
④Exposure 공정
mask를 원하는 위치에 패턴이 새겨지도록
정렬 후UV를 강하게 노출시켜 PR을 반응시킴
- 참고문헌
-
★ Chemical Engineering Laboratory2 – SKKU CE
★ http://en.wikipedia.org/wiki/Polydimethylsiloxane
★ http://terms.naver.com/entry.nhn?docId
=864802&mobile&categoryId=209
★ http://terms.naver.com/entry.nhn?
docId=444846&mobile&categoryId=354
★ http://en.wikipedia.org/wiki/Isopropyl_alcohol
http://en.wikipedia.org/wiki/Acetone
★ http://www.unece.org/trans/danger/
publi/ghs/pictograms.html
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