- [반도체공학] 플라즈마 식각 기술
플라즈마 내의 전기장의 침투로 인한 전자의 진동-> 이 자기장 에 의해 전자가 에너지를 얻음전극은 방전에 의해 발생한 플라즈마와 접촉할 필요가 없음-> 깨끗한 플라즈마와 사용 가스의 선택에서 자유로움2-2. ICP1) ICP 정의아르곤(Ar)을 플라즈마 가스로 이용하여 고주파 발생기로부터 발생된 주파수(2.45GHz) 영역에서 유도코일에 의해 발생된 플라즈마 발생소스에는 평판형(planar)(와선형), 나선형(helical)(실린더형)이 있다.2) ICP의 원리Coil에 고주파
- [반도체기술] 플라즈마 식각 기술
플라즈마 내의 전기장의 침투로 인한 전자의 진동-> 이 자기장 에 의해 전자가 에너지를 얻음전극은 방전에 의해 발생한 플라즈마와 접촉할 필요가 없음-> 깨끗한 플라즈마와 사용 가스의 선택에서 자유로움2-2. ICP1) ICP 정의아르곤(Ar)을 플라즈마 가스로 이용하여 고주파 발생기로부터 발생된 주파수(2.45GHz) 영역에서 유도코일에 의해 발생된 플라즈마 발생소스에는 평판형(planar)(와선형), 나선형(helical)(실린더형)이 있다.2) ICP의 원리Coil에 고주파
- [의공기사] 의공기사, 의공산업기사 실기 총정리
전기법을 컴퓨터에 의해 디지털화 하는 방법2) 결석의 위치측정에서 신체 내에 결석의 탐사와 위치결정 그리고 분쇄상태를 확인할 때 쓰이는 두가지는 무엇인가?-> 초음파 방식, X-선 방식3) 레이저가 인체세포 조직에 미치는 영향 4가지는 무엇인가?- 열작용, 광작용, 압력작용, 혈액응고작용4) 체외충격파쇄석기 방식ESWL- 압전소자 : 세라믹 소자에 고주파를 인가하여 발생하는 초음파를 이용하는 방식- 수중방전 : 수중에 놓인 전극사이에서 20kV, 1
- [폐수배출, 산업폐수, 축산폐수, 축산폐수, 폐수처리] 폐수의 배출, 폐수 배출업소의 현황, 산업폐수로 인한 수질오염, 축산폐수로 인한 수질오염, 낙동강 폐수 유입 사례, 폐수처리방법, 폐수종말처리시설 운영 분석
주 법에 의해서 강제화되어 있다.참고문헌김세진, 전기 분해에 의한 염색 폐수 탈색 공정의 처리효율과 속도론 특성, 단국대학교 박사 논문, 1996김남천이태수, 생물학적 폐수처리, 1977박윤창이미녕, 맥반석을 이용한 폐수처리에 관한 연구, 한국환경과학연구협의회, 1990양병수 편저, 용수 및 폐수처리, 동화기술, 1988 안재영, 생물학적 오폐수처리용 제올라이트 담체의 제조 및 처리공정 개발, p22-24, p38-40, 2005폐수처리 공학, 동화기술, 1995
- [용수처리공학] 오존처리공정
오존발생기작과 발생반응장치1) 오존발생기작 오존의 발생 방법은 무성방전법, 전해법. 광화학법, 고주파 계전법, 방사선조사법 등 여러 방법이 있으나, 공업적으로는 무성방전법이 널리 이용되고 있다.무성방전법은 금속 전극 간에 유도체를 매개로 하여 이 전극 사이에 교류나 펄스 전압을 가하면 전극사이에서 무성 방전이 생성되며, 이 방전공간에 산소 또는 공기를 통과시켜 오존을 생성시키는 방법이다. 전해법은 황산의 전기분해에 의해 오