[반도체공정] Silicon On Insulator(SOI) 에 대하여
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- 목차
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1.SOI 의 정의
2.SOI 의 특징 및 장점
3.SOI 제조방법
4.SOI 응용분야
- 본문내용
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실리콘 웨이퍼의 내부로 산소를 높은 농도로 이온 주입 시키는 과정
실리콘 층의 결정성을 복구하기 위하여 1,300°C 정도에서 고온 열처리
: 매몰된 산화막의 안정화
특징
SOI 활성층 및 BOX층의 두께 결정
: 이온 가속에너지, dose양
->활성층 두께가 매우 균일함
매우 높은 dose양의 산소를 주입
->고온 어닐 후에도 SOI 활성층의
결정성에 문제 제기
특징
SOI 활성층: 약 1㎛ ~
열산화막 두께제한 없음
SOI활성층이 단결정성을 유지하고 있음
종래의 연삭 연마법으로 1~5㎛로 박막화된 결합 SOI 웨이퍼의 활성층 두께를 더욱 박막화하여 활성층 두께의 균일성을 개선하는 방법
-> ex) 0.2 ㎛ , 막 두께 변동 제어 ±1%
화학 에칭되는 영역
: 플라스마가 발생하고 있는 작은 전극 밑
반응로에 들어간 SF6 가스가 플라스마 전극 밑에 도착 -> 플라스마의 에너지를 받아 화학적으로 활성화
-> 플라스마 영역하의 실리콘 에칭
단점 : 에칭하는데 시간이 오래걸림
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