[나노기술] Nano Lithography

나노 패턴을 만드는 방법을 개발하였는데 이것이 Dip-pen Nanolithography(DPN)기술이다. 2. Dip-pen lithography의 원리앞서 기술한 AFM(atomic force microscope)은 대기 중에서 측정할 때 tip과 표면 사이에 아주 작은 모세관이 형성된다. 이는 실제 표면을 분석하는데 어려움을 주고 있다. 하지만 이를 이용하여 기판과 tip에 존재하는 분자들의 화학적 결합을 통하여 기판에 self-assembly 하는 기술이 Mirkin 박사에 의해 1999년에 발표되었는데 이것이 Dip-Pen Lithography 기술이다.

Nano ImprintContentsNano imprint 란?Nano imprint 분류Nano imprint 공정나노 Patterning스탬프Nano Imprint 장비Nano Imprint 기술의 응용요약 및 전망나노 임프린트란?Nano 분말인 Nano Imprinting lithography는 Nano scale의 초미세 pattern의 전자회로배선을 형성시킨 기술이다. 기술적으로는 매우 단순한데, 요철을 만드는 방법과 유사한 방법으로, 기판 위에 Nano scale의 구조를 가진 resistor(stamp, 주형)를 얹고 가열하여 녹인다. 이런 후, resistor 부분을 반응성 Ion Etching 법(RIE)으로 제

기술적외선 베이크굽는 방법의 비교적외선 오븐 설치적외선 베이크가 웨이퍼에 미치는 영향적외선 베이크 공정 조건 의 결정광원(Light Sources)마스크의 휨(flex)방사 노광기술(Radiation Lithography)X-선 노광기술(X-ray Lithography)전자빔 노광기술(Electron-beam Lithography)이온빔 노광기술(Ion-beam Lithography)비노광기술(Nonoptical Lithography)Dip-pen 나노노광기술나노각인 노광기술(NIL: Nano Imprint Lithography)적외선 베이크 굽는 방법의 비교전도형 베이크뜨거운 판(hot

나노분말 기술과 IT 산업1. 개요많은 기술들이 소재 기술을 기반으로 하고 있는 것처럼 나노 기술 영역에서도 나노소재가 차지하고 있는 비중은 대단히 크다. 나노 기술은 대단히 작은 물체(소재, 소자)가 나타내는 특이한 물성을 활용하는 기술이다. 다양한 형태를 갖는 나노소재 중 가장 단순한 형태인 나노분말(나노 입자; 0차원)은 기술적으로 가장 성숙한 분야이며 기존 기술에의 접목이 가장 용이한 분야이다.현재 상업적으로 쓰이고 있는 나노소

나노 기술의 크기 스펙트럼 2그림 2-1 나노 자성소재/소자 세계시장 규모 전망 5그림 2-2 NT, BT, IT 융합 개념도 13그림 2-3 바이오칩 전체 특허에 대한 국가별 출원현황 비교 15그림 2-4 단백질 칩의 응용 16그림 2-5 microfluidics를 이용한 소형 분석 장비 16그림 2-6 molecular labeling의 개념도 17그림 2-7 2003년 독일인의 사망원인 통계 18서론연구의 배경나노기술의 정의나노기술(nanotechnology)은 대개 ‘나노미터 수준의 물질에 대한 이해와 제어를 가능