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소개글

[과학] Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)에 대한 자료입니다.

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목차

MEMS란 무엇인가 ?
MEMS의 장점
MEMS 와 Semiconductor
MEMS의 종류
MEMS의 제작
MEMS의 미래

본문내용

3. MEMS 와 Semiconductor
유사성
초기 투자 비용이 많은 장치 산업

유사한 제조 공정을 사용

장시간의 공정 시간 소요

양산 체제 구축 후 단시간에 양질의 제품을 대량생산이 가능

저 비용으로 고성능의 제품 개발

신뢰성 및 재현성이 우수

저 에너지에서의 고속 동작이 가능

군사용에서 상용까지 넓은 응용분야

반도체 소자와 MEMS 소자의 유지적 결합이 가능

참고문헌

1. 알기쉽고 재미있는 MEMS 이야기
윤준보 외 지음 / KAISTPRESS(홍릉과학출판사)
2. MEMS & RF/Optical MEMS Market Analysis Report
전략기술경영연구원 편집부 엮음 / 전략기술경영연구원(STEMI)
3. WWW.NAVER.COM

태그 Micro Electro Mechanical Systems, MEMS, 멤스

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