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Micro-scale patterning 실험

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목차
1 목적
2 이론
3 기구 및 시약
4 실험방법
5 주의사항
6 참고문헌
7 질의응답
 
본문내용
1 목적
목적
실험을 통해 유기물질을 이용한 마이크로 수준의 패턴을 만드는 법을 배우고 이해한다.


(중략)

2 이론
Photolithography

★ 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이
빛을 받으면 화학반응을 일으켜서
성질이 변화하는 원리를 이용

★ mask를 사용하여 빛을 선택적으로
PR에 조사함으로써 pattern을 형성
 
★ 모든 공정 step이 각종 particle에 대해
매우 취약
청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다
중요한 공정


①Cleaning 공정
불순물을 제거하는 세척과정

②Spin Coating 공정
Spin 방식에 의하여 PR을 wafer위에
균일하게 코팅하는 과정

③Soft Baking 공정
PR내의 solvent를 열에너지에 의해 증발시켜
점착(adhesion)을 좋게 하는 과정

④Exposure 공정
mask를 원하는 위치에 패턴이 새겨지도록
정렬 후UV를 강하게 노출시켜 PR을 반응시킴
2024-03-29 00:33:02 211.234.109.229/data/data_scrap.html 최근 수정일: 2019-11-06 15:55:18. 총퀴리수 : 3 총쿼리시간 : 0.00263 [0.00066]/[ DB:report] select count(*) AS CNT from psCart where SessNum='20240329003302725676'; [0.00065]/[ DB:report] SELECT seq FROM psRlist WHERE rpID=712744; [0.00132]/[ DB:report] SELECT * FROM psReport WHERE rpID=712744;