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다운로드: Micro-scale patterning 실험.pptx
목차 |
1 목적 2 이론 3 기구 및 시약 4 실험방법 5 주의사항 6 참고문헌 7 질의응답 |
본문내용 |
1 목적 목적 실험을 통해 유기물질을 이용한 마이크로 수준의 패턴을 만드는 법을 배우고 이해한다. (중략) 2 이론 Photolithography ★ 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용 ★ mask를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 pattern을 형성 ★ 모든 공정 step이 각종 particle에 대해 매우 취약 청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다 중요한 공정 ①Cleaning 공정 불순물을 제거하는 세척과정 ②Spin Coating 공정 Spin 방식에 의하여 PR을 wafer위에 균일하게 코팅하는 과정 ③Soft Baking 공정 PR내의 solvent를 열에너지에 의해 증발시켜 점착(adhesion)을 좋게 하는 과정 ④Exposure 공정 mask를 원하는 위치에 패턴이 새겨지도록 정렬 후UV를 강하게 노출시켜 PR을 반응시킴 |