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반도체 공정 실험
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| 3. 작동 원리 실험실에서 사용하는 고진공 펌프의 종류에는 Turbo Pump, Cryo Pump, Diffusion Pump 3가지가 있다. ⓵ Pumping System에서 기본 적으로 필요한 장비들은 저진공Pump와 고진공Pump 그리고 4개의 벨브단이 필요하다. Pumping System그림에 보이는 4개의 벨브는 모두 수동이다. ⓶로터리 Pump를 작동시키면 진공도가 떨어지게 된다. |